サーマル方式PIマスフローモジュール 株式会社堀場エステック
商品カテゴリ：マスフローコントローラ
流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-700S SeriesがAtomic Levelのエッチング成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。
流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-700S SeriesがAtomic Levelのエッチング成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。