冷却測定方式の質量流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。
デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現
マイクロリッターからの微小流量制御が可能
低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能